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技术的进步也扩大了主动隔振平台的适用范围

2021-04-19
  技术的进步也扩大了主动隔振平台的适用范围
  主动隔振平台可用于抵消工作环境对灵敏度高的精密设备产生的不必要振动,提高精密设备的性能,流线型的结构设计允许它无缝地成为工作站环境的一部分,安装简易并且不需后续的调整。此外,该隔振平台拥有便携、紧凑型的设计,可以非常轻松地安装在工作台或者桌面上。
  主动隔振平台采用先进的惯性振动传感器、复杂的控制算法和先进的压电致动器,通过连续测量地板活动,扩大和收缩压电致动器过滤地板振动来进行实时振动隔离,在一开始的设计中,主要用于先进半导体工厂的精密显微光刻、计量和检测设备振动隔离, 如今也可以成为嘈杂环境中敏感仪器的行业标准解决方案,随着技术的不断提升,该隔振平台广泛应用于半导体晶圆厂、失效分析实验室、纳米技术研究、纳米加工设备和材料研究。
  相比于气浮支腿,主动隔振平台更加坚固可靠,且不存在气浮隔振系统离不开气源的局限性。它无气浮支撑,并且与主动的气浮系统不同,可以放置在具有内部主动空气隔离系统的设备下面,且两个隔振系统相互兼容。此外,该隔振平台设计有独特的通信串口和专有high-force压电技术导致其具有大的主动带宽0.6赫兹到150赫兹,以及从2Hz开始主动振动消除性能可达到90%。
  主动隔振平台在世界各地有数百个成功安装案例,对于大部分振动敏感仪器来说都是理想的振动消除系统。

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